现有的曝光机对基板的主体部分进行曝光，但是基板的边缘，特别是基板相对的两长边(在光阻涂布的起始端与末端位置)较容易形成光阻残留，从而导致后段部件所需要用到的对位图案被遮住，造成基板报废。曝光及显影设备，该基板导正装置为一对设置于该基板输送机构的两侧的弧形板，该对弧形板的距离渐缩，在靠近该边缘曝光装置的一端，该对弧形板的距离等于该基板的短边长度。为了解决此问题，现在普遍的做法为在主体曝光完成后增加一个边缘曝光的工艺，其主要功用为防止静电的产生及后段框胶贴附的质量，另一个功用就是去除基板四周的不必要的残留。
公开了一种曝光显影设备及曝光显影方法，以解决光阻残留问题，且提高加工效率、降低生产成本。
本公开的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本公开的实践而习得。
东莞市清溪利成曝光显影