该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成,在重合室中放置对象物品,在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后,升高汽化炉的温度(120~180℃),使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室,通过高温(650~700℃)分解炉后,生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触,其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合,形成高分子量的聚对二树脂膜。
常用永磁体有钕铁硼磁体。即磁体是通过粉末冶金工艺烧结成型的产品,因其中的富钕相、钕铁硼主体及边界很容易形成晶间腐蚀,并且稀土元素钕性质活泼,因而使得整个钕铁硼材料的耐蚀性极差,在潮湿环境下极易氧化生锈腐蚀。
目前,常见的钕铁硼磁体的防腐方法主要有电镀、磷化、电泳等。但这些常规电镀方法普遍存在各种各样的问题,例如工艺稳定性不好,适用范围较窄,防腐能力不足,设备投资大,运行成本高等问题。
普通真空镀膜时,在工件表面与镀层之间几乎没有连接的过渡层,好似截然分开。而离子镀时,离子高速轰击工件时,能够穿透工件表面,形成一种注入基体很深的扩散层,离子镀的界面扩散深度可达四至五微米,对离子镀后的试件作拉伸试验表明,一直拉到快要断裂时,镀层仍随基体金属一起塑性延伸,无起皮或剥落现象发生,可见附着多么牢固,膜层均匀,致密。