能谱仪
能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
性能指标
固体角：决定了信号量的大小，该角度越大越好
检出角：理论上该角度越大越好
探头：新型硅漂移探测器（SDD）逐步取代锂硅Si(Li)探测器
能量分辨力：较高等级别的能谱仪分辨力可达121eV
探测元素范围：Be4～U92
便携式能谱仪
X 射线能谱仪作为扫描电镜的一个重要附件，可被看成是扫描电镜 X 射线信号检测器。其主要对扫描电镜的微区成分进行定性、定量分析，可以分析元素周期表中从 B-U 的所有元素信息。其原理为：扫描电镜发出的高能电子进入样品后，受到样品原子的非弹性散射，将能量传递给该原子。该原子内壳层的电子被电离并脱离，内壳层上出现一个空位，原子处于不稳定的高能激发态。
在激发后的 10-12s 内原子便恢复到很低能量的基态。在这个过程中，一系列外层电子向内壳层的空位跃迁，同时产生 X 射线，释放出多余的能量。对任一原子而言，各个能级之间的能量差都是确定的，因此各种原子受激发而产生的 X 射线的能量也都是确定的。
便携式能谱仪
1、能量范围：25Kev~3Mev左右
2、灵敏度：1.5cps/uR/h, 1.2cps/nv
3、IP65级防尘和防水设计
4、工作温度范围:-20 oC~50oC
5、相对湿度: 可到95%
6、抗冲击防护:可防护1.5米高度落下至水泥地面。
7、配有牢固的外套保护
8、电源：锂充电电池或3节AAA普通电池
9、可配置站（base Station）用于存放，充电和通讯。
10、结构轻巧（112X61X25mm，小于250g），便携。
便携式能谱仪的主要用途
便携式多功能能谱仪 功能强大、使用方便，技术达到水平。可广泛用于： 辐射安全检测：核安全机构和海关口岸物品检查、级材料查验、突发核事件辐射检测、核物质识别。 环境辐射检测：自然环境检测、医院环境安全监测、水质/空气监测、废物监测、污染监测、个人辐射计量。 站辐射检测：环境监测、核工作场所检测、检测、核废物监控、气溶胶监测。 工业监测：对工业生产、加工中使用核材料、核设施及工作场所、废金属处理过程的监测。