高纯水被污染的原因，一是来自外界杂质的引入，二是系统内各种材料中所含污染物的溶出。1安装前的清洗：吹扫用钢丝绑扎白布在管内表面来回拉擦，直至管内腔擦净。因管道材质造成纯水水质下降主要有以下两点: (1) 管道材质中的不纯物质溶解于高纯水中致使水中阳、阴离子增加、电阻率下降以及TOC增大。(2) 因管道内壁不光滑及接头、阀]等原因造成细菌滞留繁殖以及其他颗粒的聚积，致使水中微粒增加。为了减少上述不利因素的影响，应选用可萃性低、内壁光滑的管道并尽可能减少接头及管件的凹凸不平。当然也要根据纯水水质的级别进行选材，并注意材料的价格等，要统筹兼顾。根据材质的不同，高纯水配管主要可分为有机系配管和不锈钢配管两大类。
1.4 PVDF管：目前普遍认为PVDF管在商品有机配管中是性能稳定且对纯水水质污染至小的管材，特别具有耐温、耐H:O2、O.和耐寸 UV照射的优点。不锈钢托架安装时，应防止不锈钢与碳钢接触,管道与支架接触处应垫入不锈钢片、不含氯离子的塑料片或橡胶垫片。至大的不足是价格昂贵，为PVC管的5~10倍，因此目前仅用于纯水精处理系统的管道中，现国内个别合资和独资集成电路工厂中已有使用实例。
1.5不锈 钢配管：不锈钢配管材质通常选用0Cr18Ni9(304L)和00Cr7Ni14Mo2(316L)两种牌号。加压的目的是为原l油提供动能，以克服沿线地理位差及管道沿线的压力损失。它们之间的主要区别在于后者加入2%的钼，从而在技术性能上比前者优越，特别对非氧化性酸和热的有机酸、氯化物的耐腐蚀性比单纯的铬、镍不锈钢要好得多，抗孔蚀能力也会大大增强。无论选用哪种牌号的不锈钢管，均应进行表面处理,以减少金属溶出量和提高内表面光洁度。特别对焊缝处必要时应进行酸洗和钝化处理。目前,在水质级别不太高的大型电子纯水系统(如彩色显像管生产线)大多采用304L不锈钢管，而在医类工业高纯水系统均用316L不锈钢管。
以下仅以两个电子工厂纯水输送系统为实例，分别对不锈钢管和PVC管的清洗工艺和具体步骤作一简要讨论。
3.1某彩色显像管厂纯水输送系统(不锈钢管)：该输送系统水质要求电阻率≥(25C)，管材为304L不锈钢，单管布置方式，循环干管直径100mm,总长度约1000m。运转几年来，水质满足了工艺要求。
3.1.1安装前的清洗：吹扫用钢丝绑扎白布在管内表 面来回拉擦，直至管内腔擦净；脱脂用CCL4原液充入管内， 来回循环，除净管内油渍;温水洗先用 2%~3%浓度、温度为40C~ 50C的洗涤剂或肥皂液在管内进行动态洗净，洗净后用40C~50C温水冲洗，冲净为止；干燥用无油干燥 热压缩空气或用净化压缩空气吹干，并严格检查是否有污染物；封闭用干净塑料布加入松套法兰盘之间封口；酸洗和钝化处理对有锈蚀的管 、阀件，在温水洗后应进行酸洗和钝化处理，并须用自来水冲洗至中性；脱脂管道焊缝内壁去掉氧化膜后，应再用CCL4脱脂，85℃热水洗，干燥后密封管口待装，如发现有锈蚀现象，在干燥前还应进行酸洗和钝化处理。Ar弧焊接时，要求内焊缝表面光滑，无氧化现象，焊表缝及尺寸面缺陷容许值应符合规定要求，法兰连接时，法兰垫片宜用聚四氟乙烯。