真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。但是，以氦气作为示漏气体，也有一些不足之处，例如橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦气，在吸收后慢慢地释放出来。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
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氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作：
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测；
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行；
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始氦气检漏（等待几分钟）；
4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏；
5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”；
6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，关电源。
氢气检测仪在各行业氢气泄漏检测中的应用
1、工业用途
氢是主要的工业原料，也是重要的工业气体和特种气体，在石油化工、电子工业等方面有着广泛的应用。氢气还可用作合
成氨、合成盐酸的原料，冶金用还原剂，石油炼制中加氢脱硫剂等。如钢铁冶金行业，在生产和制作过程中会有
一步重要的环节，就是焦炉中的干馏。干馏的目的就是要去除煤炭中的硫、氮等杂质，让炼化过程获得更高的热值。但干馏
的过程中会释放大量的氢气和CO。所以就涉及到了氢气检测仪的应用
2、矿行业
是对煤炭、矿物质等自然产生的矿物进行采掘。而在采掘过程中由于地下情况复杂，就加大了发生氢气、CO等气体危害人员生命安全等情况发生的几率。所以，氢气检测仪、一氧化检测仪等就
成为了开采作业不可缺少的气体检测设备。
3、新能源行业
氢气作为汽车的清洁能源显然非常环保，因为装配有氢燃料电池组和电动马达的汽车排放物质就是水，基本无污染。