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在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备，SF6气体监测的主要方法有一下四种:

1)电化学技术(TGS830、TGS832)费加罗传感器或卤素气体传感器。

电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。

2)高压击穿技术。

电i击穿技术是从SF6在电力上的典型应用--作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。

3)红外光谱技术(IAC510)

红外光谱吸收技术(又称激光技术)的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。

4)电子捕获ECD原理

电子捕获检测器(electron capture detector)，简称ECD。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性(无电负性)的物质，如烷烃等则无信号。

六氟化硫（sulfur hexafluoride）是一种无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，化学式SF₆它的分子量为146.07，在20℃和0.1 MPa时密度为6.1kg/m3，约为空气密度的5倍。六氟化硫在常温常压下为气态，其临界温度为45.6℃，三相点温度为-50.8℃，常压下升华点温度为-63.8℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。

因为六氟化硫的密度差不多为空气的五倍，所以吸入六氟化硫的人说话的声音会波长变长，频率变低，说话声会变得像男人一样雄浑霸气，而氦气正好相反，吸入后波长变短，频率变高，说话声会变得像女人一样细瘦虚弱。 [1] 物性数据编辑锡纸漂浮在六氟化硫气体上1、性状：无色无味气体。2、熔点（℃）：-513、沸点（℃）：-64（升华）4、相对密度（水=1）：1.67（-100℃）5、相对蒸气密度（空气=1）：6.6026、饱和蒸气压（kPa）：2450（25℃）7、临界温度（℃）：45.6