等离子键合机操作与使用
机器初始安装步骤
1、连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路,紧固好O型卡和锁紧帽,做到连接处密封且不漏气。
2、接通供电电源和真空泵电源,在此之前检查所有按钮必须处于复位状态,同时检查所供电源插座的L、N、E的接线是否与机箱后的AC220V输入插头相一致，以免发生危险动作。
PDMS分离
打开PDMS浇筑器两边搭扣，取下浇筑器上半部分，先整体取出固化后的PDMS和模具，在小心分离PDMS和模具。
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PDMS芯片键合
1）将制备好的PDMS芯片用胶带处理表面灰尘；
2）对玻璃基片进行清洗，确保表面干净无尘。
3）处理完成的PDMS芯片和玻璃放在托盘上，放入等离子体中进行表面处理。PDMS芯片如需进行上下层的结构对准，需事先使用对准平台处理进行预对准（但不要贴合），然后将完成的PDMS芯片从对准平台上连同托盘一起取出，放入等离子体中进行表面处理。
4）将处理好的PDMS芯片和玻璃迅速贴合，放入烘箱，85℃，30min，取出。如是需进行上下层对准的芯片，等离子处理完后，连同托盘在放置在对准平台上面，进行对准，对准后操作Z轴向上台式托盘，使上下两层PDMS贴合，连同托盘一起取下，放入烘箱，85℃，30min后取出，去除托盘，完成键合。