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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚,将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。 正是意识到这一问题后,公司以此为科技攻关点,经过多年的不懈努力,磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理,研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机,很后将两者结合起来,成功研发出国内生產的磁悬浮复合分子泵,并探索实现了产业化。
9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露大气易引起事故; 综上所述,涡轮分子泵的特点很多,但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展,涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率,其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研,同时也需要各界的共同努力,对涡轮分子泵特点的进一步研究,相信在未来是个值得突破的课题。
爱发科分子泵, 磁悬浮分子泵应用范围***。公司研发总经理介绍,在半导体生产线、真空镀膜生产线、汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。 由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点,一旦实现产业化,将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。
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它的特点主要有: 1、泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵,后一级的入口与前一级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 的间隙,气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。 3、分子真空泵的优点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。
它的不足:抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障等,因此除特殊需要外,实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单,抽速大的扩散泵所代替。分子泵报价, 涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。
立式涡轮分子泵,泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很安全。接下来主要介绍这两种涡轮分子泵特点: 1、清洁,无油蒸汽返流; 2、使用方便; 3气体输送能力强; 4、适于超高真空应用; 5、高压力下性能良好; 6、循环的时间短;; 7、正常使用时间长; 8、设备费用高;9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露大气易引起事故;
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。如图464所示,当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是,该变化比直线稍慢。这是因为,在旋转速度下,P较大的气体具有较大的速度比,因此叶片的Hoe系数较大,但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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