激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气，当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体，一般压力要求比较高。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为代气体激光，二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。
激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。CO2激光辅助鼓膜成形术的总体满意，与传统手术相比，该手术方式具有操作简便、创伤小、且可重复进行的优点。中性原子激光中，常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著，所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其优越的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地)，使它广用于扫描读码设备及全像等。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。准分子(Excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。