广州潽拓光电科技有限公司——Agilent真空泵修理分子泵安装维修注意事项
电缆安装注意事项
①、对正槽口插入
②、用螺母拧紧,边插边拧
③、检查到位
振动隔离、冲击防护
1分子泵振动,可直接接于被抽系统。
对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便可能的减少振动。
2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑
机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)
气体振动(气量突变、压强突变)
意外振动(掉入异物、碰撞等)
注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
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安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器高的无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3,在客户现场就可实现。
现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户,可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3,来改善操作环境,降低使用成本,消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。
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测试过程
试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。
测试结果
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰,可提供 400 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS),确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。
404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。
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安捷伦DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求,所有的泵均具有UL和CSA认证。安捷伦的技术支持机构确保DS系列旋片泵具有的,且能够适合于绝大多数应用。安捷伦提供抽速从1.8m三次方/h到25m三次方/h小时的系列双极油泵,同时还提供“智能”的HS系列变频泵。
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由于钛升华泵或吸气剂泵可以提供很大的抽速,在 UHV 系统中,通常使用钛升华泵或者吸气剂泵作为泵送活性气体(如氦气和氮气)的有效手段,但是,钛升华泵或者吸气剂泵对非活性气体(如气和)几乎没有抽速。由于 Starcell 三极离子泵对非活性气体有较好的抽气作用,通常将 TSP 或 NEG 与 Starcell 结合使用。安捷伦可以提供与钛升华泵复合的 CombiTSP 离子泵或与吸气剂泵复合的 CombiNEG 离子泵。