氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤，本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加氦压:将被检继电器放入充氦的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器，用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的氦气。3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测，若继电器有漏，压入内腔的氦气会经过漏孔进入检漏仪，仪器上会有漏率显示。
为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。对漏点进行堵漏。
检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。