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为了校准装置的后续发展，具备更多功能，要保证装置具有拓展功能接口。研发人员采用在装置中预留通用真空接口的方式，方便后续产品组合，拓展新的功能，如拓展漏孔校准、检漏等功能。通过真空事业部多年来的不断攻坚克难，大胆创新，目前研制成功的便携式真空计校准装置在设备外观、客户界面及操作使用上更加美观合理，具备体积小、易携带，不受环境、空间等因素影响，随时随地都可进行校准使用，
同时还具备拓展功能接口，便于拓展漏孔校准、检漏等功能，解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了现场真空计的准确校准。使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。
“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。
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空检漏的意义？
答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。
简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。
真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。
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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能
●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。
▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果
●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数
●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。
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气体的真空磁导率比灯丝的直徑大许多时，Qg根据随意分子结构的导热被表明为式中α———适度参量；Λ———分子结构的热传导率；d———灯丝直徑；a———灯丝长短；T———灯丝温度；T0———金属材料圆桶的温度；p———气体气体压强。Qs和Qr可以各自表述为式(4-8)意味着电级的导热，在其中S是灯丝的断总面积，κ是固态的热传导率，L是电级的长短。式(4-9)意味着辐射热，σ和ε分别是玻尔兹曼参量和固态辐射率。假如维持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为参量。
假如用I20R表明一定量的固态导热和辐射热，则式(4-6)可以表述为I0是灯丝的电流量，持续填补固态导热和辐射热而提供的热能损害。A不是依附气体压强的参量。假如已经知道灯丝的电阻器R、电流量I0及参量A，则可以根据式(4-10)求取气体压强p。热电阻真空计的气体压强检测范围在0.1～300Pa，具备下列优势：(1)构造简易、非常容易生产制造、非常容易实际操作；
工作中温度、工作标准电压较低；(3)测定读值为全气体压强，而且可以完成长距离的连续性准确测量。可是，热电阻真空计具备受温度危害大、读值時间落后、读值因气体类型而异、读值必须校正等缺陷。二、热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。
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