平衡缸的部件是一个大流量、大排放量、高精密度的气控减压阀，这个减压阀直接关系到重物的定位准确性，移动重物时需要的外力大小，移动重物的速度。两个先导压力减压阀入口压力取自主管路，分别作为重载平衡和空载平衡的先导阀，两路先导气体通入两位三通换向阀，换向阀用于切换重载平衡和空载平衡。经过换向阀之后，先导气体通入气控减压阀，气控减压阀的出口压力则和对应的先导压力相等。主管路的气体经气控减压阀减压后通入气缸，气缸内充入气体后活塞上升，从而将重物拉起。
平衡气缸的结构：1、活塞杆。活塞杆是气缸中重要的受力零件。通常使用高碳钢、表面经镀硬铬处理、或使用不锈钢、以防腐蚀，并提高密封圈的耐磨性。2、密封圈。回转或往复运动处的部件密封称为动密封，静止件部分的密封称为静密封。缸筒与端盖的连接方法主要有以下几种:整体型、铆接型、螺纹联接型、法兰型、拉杆型。3、气缸工作时要靠压缩空气中的油雾对活塞进行润滑。也有小部分免润滑气缸。
1、平衡缸结构扎实体积小而容易安装在主轴单元的位置附近；利用其平衡重量，可更有效地减低重力轴向线性伺服马达的负荷，降低电力消耗热引起之热变。2、平衡缸也可以减轻螺杆的负荷，减少发热。在没有平衡器的状况，螺杆受到很大的负荷，且发热变形，位置精度很难保证。特别是在快速退刀时，发热量很大，加工精度的降低成为很大的问题。