相对湿度在35%-40%之间能够作为一个令人满意的折中,半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度,包含腐蚀的进程,将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时,高湿度能够使反响加速。幸运的是,一些金属,例如铝,能够与水构成一层维护形的氧化物,并阻止进一步的氧化反响;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有维护才能的,因而,在高湿度的环境中,铜制外表更容易遭到腐蚀。
合理的设计净化车间对其净化效果有着很重要的作用。 一、布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。二、在满足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置,靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
无尘车间净化分为生物洁净室和非生物洁净室两种。生物洁净室空气净化系统必须连续运转;非生物洁净室使用前空气净化系统应提前4小时开启。检测尘埃粒子用尘埃粒子计数器,在环境卫生清洁后缓冲0.5~1小时之后进行,为避免人为造成的污染,静态测试时洁净室内两人。的生产过程中应对关键控制点进行动态监控。甲醛气体灭菌技术。甲醛熏蒸不仅对不易的霉菌有很好的灭菌效果,而且对环境中的细菌芽孢杀灭效果较好。甲醛熏蒸操作需要注意:首先保证室温达到35℃以上、相对湿度在60%以上;其次要保证甲醛用量达到房间体积10克/立方米的比例;另外,房间消毒时间不少于12小时;特别值得提醒的是在甲醛置换前用同比例的氨水进行中和,这样将zui大限度地减少对人体的危害以及对环境的污染。为了防止细菌对甲醛产生耐药性,可以用臭氧进行交替效果会更好。