大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
在废气处理当中，通常使用多的活性炭是蜂窝活性炭。活性炭原料通过特殊工艺，制作成蜂窝状立方体，常见孔径从1mm-3mm，孔径越吸附表面积越大能力也越强，同时压力损失也会更大。相对于颗粒炭，柱状炭，蜂窝活性炭有着压损小，易脱附，不易堵塞的优点，目前在废气处理中被广泛使用，吸附箱体作为一个框架用于放置活性炭，在废气治理中，用的多的样式：立式罐吸附器，卧式罐吸附器。
哪些地方适用于废气处理设备呢？像涂装厂、食品厂、橡胶厂、化工厂、电子厂、印刷厂、喷漆车间、塑料厂、镀锌车间、涂料厂、石化行业等产生粉尘，异味，的场所，都会产生工业废气，都需要进行废气、粉尘或者的处理。废气处理装置蓄热与燃烧设备:分为二室、三室或多室蓄热与燃烧设备。通常采用耐高温的陶瓷材料作为蓄热体。UV光氧催化设备:当光的能量足够打破有机废气分子中的化学键时，只有激发能大于化学键能，这两个条件才能满足，化学键分解反应就会发生。