原子荧光光谱仪
激发光源
可用连续光源或锐线光源。常用的连续光源是氙弧灯，常用的锐线光源是高强度空心阴极灯、无极放电灯、激光等。连续光源稳定，操作简便，寿命长，能用于多元素同时分析，但检出限较差。锐线光源辐射强度高，稳定，可得到更好的检出限。
原子化器
原子荧光分析仪对原子化器的要求与原子吸收光谱仪基本相同。
光学系统
光学系统的作用是充分利用激发光源的能量和接收有用的荧光信号，减少和除去杂散光。色散系统对分辨能力要求不高，但要求有较大的集光本领，常用的色散元件是光栅。非色散型仪器的滤光器用来分离分析线和邻近谱线，降低背景。非色散型仪器的优点是照明立体角大，光谱通带宽，集光本领大，荧光信号强度大，仪器结构简单，操作方便。缺点是散射光的影响大。
“AFS”的原理
原子荧光光谱法(atomic flurescenc spectrometry，AFS)是一种基于测量原子蒸气吸收特定辐射被激发后去激发所发射出的特征谱线强度进行定量的元素痕量分析的发射光谱分析法，是在20世纪60年代中期提出并迅速发展起来的一种新型痕量光谱分析方法，是原子光谱法中的一个重要分支。原子荧光光谱法所用仪器与原子吸收光谱法相近。
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火焰原子化法和石墨炉原子化法
火焰原子化法的优点是:火焰原子化法的操作简便，重现性好，有效光程大，对大多数元素有较高灵敏度，因此应用广泛。缺点是:原子化效率低，灵敏度不够高，而且一般不能直接分析固体样品;
石墨炉原子化器的优点是:原子化，在可调的高温下试样利用率 达，灵敏度高，试样用量少，适用于难熔元素的测定。缺点是:试样组成不均匀性的影响较大，测定精密度较低，共存化合物的干扰比火焰原子化法大，干扰背景比较严重，一般都需要校正背景。
原子化器无火焰
如果原子化器无火焰可能的原因有:点火炉丝上出了问题、进样不正常或者硼失效。
如果是点火炉丝出现问题首先要检查点火炉丝的连线和插头，如果都没有问题，那就可能是点火炉丝烧断这时就需要更换点火炉丝；另外，进样不正常或者硼失效致使氢化反应不能正常进行也是导致原子化器无火焰的原因。此时，就需要检查并更换进样泵管、毛细尖嘴或重新配制硼溶液。