真空镀膜与您分享超高纯金属及溅射靶材是电子材料的重要组成部分,溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,真空镀膜工厂,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。
上游的金属提纯主要从自然界重点金属矿石进行提纯,一般的金属能达到 99.8%的纯度,溅射靶材需要达到 99.999%的纯度。
靶材制造环节首先需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺设计,然后进行反复的塑性变形、热处理来控制晶粒、晶向等关键指标,再经过水切割、机械加工、金属化、超生测试、超声清洗等工序。
采用PVD真空镀膜处理,清除镀膜室内的尘埃,设置洁净度高的工作间,真空镀膜,保持室内高度清洁,是镀膜工艺对环境的基本要求。在空气湿度大的地方,除镀前要对基片、真空室各部件仔细清洗外,还要进行烘烤除气。为了防止油进入真空室,真空镀膜加工,应注意油扩散泵返油,对高热能的扩散泵必须采取挡油措施。已清洗过、不能存放于大气环境的洁净表面,应采用密封容器或保洁箱储存,真空镀膜工艺,减少尘垢
PVD技术出现于,制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。在高速具领域的成功应用引起了制造业的高度重视,人们在开发、高可靠性涂层设备的同时,也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。与CVD工艺相比,PVD工艺处理温度低,在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响;薄膜内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层;PVD工艺对环境无不利影响,符合现代绿色制造的发展方向。当前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、车刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。