流量控制器
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
流量控制器
注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。
质量流量控制器(MFC)除工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
注意选择合适的精度指标
准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高,应考虑自己的实际需要。
如果对厂家给出的指标不放心,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。
流量控制器
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。提高开表率在仪表设备管理中,开表率的定义是:(仪表总台数一未正常使用的仪表台数)/仪表总台数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。