真空除气储存柜设备用途
本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺：半导体硅片除气；3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理；X射线管高真空除气。
真空除气存储柜工艺流程
真空除气存储柜、真空除气炉的控制操作可以选择手动与自动两种模式。
该设备有两种工艺流程：常温保压工艺与加热除气工艺。用户可根据实际情况需要，在设备上设定需要的执行功能与详细的目标参数。当用户设定参数之后，系统即按照用户的设定参数默认执行。
设备具有很高的智能化，当用户设定的参数目标值存在错误或逻辑冲突时，系统会及时提醒并不能按照错误的数据启动运行设备。并可以提供20+组不同的参数组，供客户选择和修改。并且具备工艺记忆功能，方便客户的使用。
真空除气炉、真空存储柜的使用环境
使用环境
① 设备占地面积约：长2米，宽1.6米（约3.2平米）高1.95米；
② 电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约15KW（外部电源用户自备）；
③ 工件要求：无油污，无腐蚀性物质；
④ 环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
⑤ 相对湿度：20%-85%；
⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。
真空除气储存柜维护要求
真空除气储存柜，又称真空存储箱，用于各类金属材料，化工原料，半导体芯片、电路板、电子器件，电池片、电池材料等其他易氧化材料的真空存储，防潮、防氧化。也可用于胶水的真空脱泡、除气等作用，经常在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。
1、放入需要保存的产品，快速抽真空到极限真空，可能逐渐回压到一个平衡值，长期保存；
2、放入保存的产品后，启动程序，快速抽至真空下限值，持续保压如箱内回压到上限值之后，会自动启动抽真空至下限值；
3、抽真空至下真空度后，自动充入氮气至常压，在无氧环境下保存产品。
为了提高空间的利用率，通常可以分为两腔，三腔，四腔，六腔体等等。根据产品的存放要求，存放时间和工艺产线要求，程序可以做不同的调整。