氮化硅在90-1000K温度范围内的迁移率具有与其他大多数半导体不同的行为。N型材料的霍尔迁移率在200K时约具有10c㎡/V.s的大值，在1000K时大约降到2.5c㎡/V.s、90K时接近于零；P型材料的大值不明显，200K时的迁移率值为70c㎡/V.s，1000K时为30c㎡/V.s。研磨开始阶段因有工件的原始粗糙度及几何形状态误差，工件与研具接触面积较小，使磨粒压下较深。随着研磨时间增加，磨粒压下渐浅，通过工件横截表面的磨粒增多，几何形状误差很快变小而表面光洁度的改善也较快。磨料--主要是因为氮化硅具有很高的硬度，化学稳定性和一定的韧性，所以氮化硅能用于制造固结磨具、涂附磨具和自由研磨，从而来加工玻璃、陶瓷、石材、铸铁及某些非铁金属、硬质合 金、钛合金、高速具和砂轮等。
从用途来说，氮化硅微粉的主要用途是氮化硅陶瓷或其他陶瓷以及耐火材料的原料；氮化硅磨粉粉的主要用途是切割或磨料。近年来，发展了一种新的烧结方法，就是在氮化硅中加入0.36%的硼和0.25%以上的氮，在2100℃温度下用普通烧结办法使氮化硅烧结到理论密度的96%。这种耐火材料在较低温度时的导热性比氮化硅含量相同的氮化硅粘土质的要高些，但是随着温度的升高，该差有所降低，并且于6OO摄氏度或更高的温度时，氮化硅粘土质耐火材料(含10~20%粘土)的导热系数与以氮化硅为结合剂的氮化硅质耐火材料的相等。同时，低气孔率的以二氧化硅为结合剂的氮化硅质制品的导热性可能比以氮化硅为结合剂的制品要高些。
那么氮化硅陶瓷究竟有哪些性能特点呢？氮化硅陶瓷的主要材料是氮化硅，氮化硅的熔点是非常高的，可以达到摄氏2000多度。因此氮化硅陶瓷的耐热性是非常好的。因为氧化硅高强度的耐热性，在机械制造中或者内燃机制造业领域都有非常好的应用发展前景。
氮化硅材料是在氧化铝材料以后出现的一种刀具材料。它比氧化铝材料的强度和断裂韧性高, 其抗弯强度一般可达 900~ 1 000MPa, 断裂韧性 5~ 7MPa#m1P2 , 硬度 91~ 93HRA, 耐热性可达1 300~ 1 400 e , 不易产生裂纹, 可以获得稳定的使用寿命。采用热压自增韧的方法可以进一步提高氮化硅陶瓷的强度和韧性, 即控制烧结过程, 使一部分氮化硅晶粒发育成具有较大长径比的棒状晶粒( 晶粒的长径比可达 3~ 8) , 从而获得类似于晶须增韧的效果, 断裂韧性可达 10. 02MPa#m1P2 。
氮化硅与水几乎不发生作用；在浓强酸溶液中缓慢水解生成铵盐和二氧化硅；易溶于，与稀酸不起作用。浓强碱溶液能缓慢腐蚀氮化硅，熔融的强碱能很快使氮化硅转变为硅酸盐和氨。氮化硅在 600℃以上能使过渡金属（见过渡元素）氧化物、氧化铅、氧化锌和二等还原,并放出氧化氮和二氧化氮。1285℃ 时氮化硅与二氮化三钙Ca3N2发生以下反应：
Ca3N2+Si3N4─→3CaSiN2