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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：
（1）抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S（4-67）。其中：g是由几何形状决定的常数；u是活动刀片的转速。随着速度的增加，泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据（4-66），随着S1的增加，S将偏离直线。
（2）泵送速度与入口压力之间的关系在分子流的压力范围内，分子泵的泵送速度几乎没有变化。因为分子电导C与分子流动过程中的压力无关；根据公式（4-65），S1仅确定叶片形状，速度和气体类型，并且与压力无关。因此，根据公式（4-66），实际抽速与压力无关。但是，当增加压力以不满足分子流动条件（大约2×101Pa）时，由于大多数分子无法直接与叶片碰撞，因此泵速会迅速降低。如图4-62的右侧所示，曲线1、2和3对应于压缩比与不同前级泵
（3）的速度和相对分子质量之间的关系。压缩比与速度的平方根和相对分子质量成指数关系（G（4-68在公式中，G是由几何形状确定的参数。测量结果与公式基本一致。图4-63显示压缩比，其中：p代表前级泵端口的压力和力，代表分子，泵的入口压力，在相同速度下，大的气体分子具有大的压缩比，高的极限真空，轻质气体成分，压缩比小，极限真空低，即轻质分子主要处于分子泵的极限真空中；除去氢，氦等轻质分子的能力较弱。重量具有较高的压缩比，这是涡轮分子泵可用于获得清洁真空的物理基础
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分子泵常见的故障问题：
1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？
2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么会发黑？或者多长时间油才会变黑？
3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？
6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？
7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形？
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，怎么使用才安全？
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？
11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？
12、分子泵是否对冷却有明确要求？如果风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现什么后果？
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是很佳方式？
14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？
15、分子泵叶片破碎的原因？
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分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。抽气系统装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前，高真空阀和粗抽阀是关着的，而前级管道阀是打开的。首先关闭前级阀，启动粗抽泵（兼前级泵），打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100Pa时关闭粗抽阀，打开前级管道阀，再启动涡轮分子泵（需先接通冷却系统）。
如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后（一般需5~10min）加注液氮。1-涡轮分子泵；2-液氮冷阱；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-粗抽阀；7-机械泵；8-前级管路阀；9-高真空阀。图1 典型涡轮分子泵抽气系统粗抽系统的配置随真空室的容积大小而有所不同。对500L/s或更小的涡轮分子泵来说，可采用一台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的罗茨泵机组。
在压力为100到150Pa时关闭粗抽阀，把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵，这样做会引起轻微而滞后的瞬时减速，但这对抽气并无影响。正如扩散泵抽气系统那样，涡轮分子泵系统中的很主要的物质是水蒸气，其臭气时间将受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么这个系统抽除水蒸气的速度就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一些。
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在润滑方面，配备一种新型润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线，客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.
涡轮分子泵1500U技术参数
压缩比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
进气口
DN250-ISO-K
极限真空重量
29KG
涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,通讯接口RS-485,远程遥控（Profibus/DeviceNet型号供选择）,多种配件供客户选择.
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