涂层厚度计一般都需要按照已知的厚度标准进行校准。厚度测量的标准相关资源有很多,较好地确保它们归属于一些大型国家计量研究院,例如与技术研究院等国家测量机构。
同样重要的是,还需要根据这些标准进行定期检查以验证仪器是否正常运行。当测量读数不符合仪表的精度规格时,仪表必须进行调整或修理,然后重新进行校准。
但这种测量方法只适合作为参考,因为固化膜在流动后可能会发生变化,由测量仪器留下的一些痕迹也可能会影响到固化薄膜的性能。
PVD是物理气相沉积的简称,是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上真空镀膜。利用物理过程实现物质转移,在工件表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层,其特殊性能包括强度高、耐磨性、散热性、耐腐性、以及绝缘等。涂层的物质源是固态物质,利用气体放电或加热的方式使靶材蒸发或者电离,经过“蒸发或者溅射”后,在电场的作用下,在工件表面生成与基材性能不同的固态物质涂层。
在日常的操作中,有些用户由于其操作不当导致镀膜效果欠佳的问题,在PVD真空镀膜过程中,镀膜机腔体内的压力波动将导致镀膜不均匀以及重复性欠佳。质量流量控制器控制反应气体的同时,采用压力控制器控制腔体内惰性气体的压力,从而提升终等离子气相沉积(PVD)的结果。
目前使用的Parylene主要有Parylene N,Parylene C和Parylene D三种,其共同点是高度惰性与高纯度,而每一种型号又有各自不同特点:Parylene N 具有很高的击穿强度,同时具有与频率无关的低介电常数;Parylene C提供了的电气特性和物理特性的组合,包括潮热环境和腐蚀性气体环境下的低渗透率;Parylene D 通过高温下优良的物理和电性能改善了热稳定性。Parylene HT是具备上述三种材料优点的一种组合材料。下面主要以 Parylene N和 Parylene C为例,介绍 Parylene的主要特性。