有机高分子奈米薄膜,属高绝缘性、无、膜厚一致性的耐薄膜。其防尘、防潮、防水的耐透气性效果,可使产品达到国际性防尘、防水的IP等级规范(*注1)。真空电镀可达200℃左右,这对使用在高温的部件就可以进行电镀处理了。例,可使马达组、定子、转子达到国际级防尘、防水的IP5.5规范(*注1);对硅钢片的耐压及防线伤或NB电池回路基板,抗电解液腐蚀等都有其显著的成效。
纳米镀膜是一种汽车镀膜美容,其漆面保护效果十分明显,可以避免车漆氧化,达到漆面增亮、抗酸碱、、抗紫外线等多重功效。
微电子集成电路Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。对于一些较大的插件类连接器也可不做遮蔽,浸泡后可以反复对连接器插拔几次即可正常使用。
不仅是镀膜应用广泛的设备,多功能真空镀膜机也是在真空环境下应用广泛的设备;真空镀膜机的工作原理各不相同,工艺也会影响其运行方式。负压镀膜机有真空系统,冷却系统,检测系统,镀膜系统;有蒸发镀膜,磁控镀膜,离子式镀膜。
多功能真空镀膜机主要是指需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括真空离子蒸发、磁控溅射、 MBE分子束外延、 PLD激光溅射沉积等多种类型。其基本思想分为蒸发和溅射两种。