可以使定影液处于酸性状态,不断地中和从显影液中带来的余液而停止显影。又能使定影液较长时使用而不变色。这类显影液优点是显影速度快,可链带式获得较高的感光度,尤其是影像的暗调层次特别丰富,组成银影的颗粒较细,适宜高倍放大。当液温达到21℃以上时,定影液中一般要加入坚膜剂,以防止乳剂层被破坏。坚膜剂有:钾锁[A12 (S04) 3-K2S04-24H20]、铬砚[Cr2 (S04)3K2S04-24H20]和甲醛(HCHO) 。甲醛的坚膜作用强,铬矾次之,钾矾的作用较弱。采用时应根据液温情况选用,通常使用钾矾和铬矾。因甲醛有毒,只有特殊情况才采用它。
测试步骤
用初始Recipe生产测试版,并量测CD做数据分析。根据数据分析结果中Radio误差数据,调整显影工艺段Recipe,通过显影补偿手段使得Radio误差数据优。下图这款设备采用托盘装载方式清洗(5-6寸可装载15片同时加工)2。通过调整曝光机Bias,显影时间和蚀刻时间等参数使得CD Mean指标达标。使用优化后的Recipe生产测试版,重复CD Uniformity测试,检验现有工艺条件下该指标的性能。
不含潜影银的地方, AgBr被还原的速度非常慢,有资料表明,有没有潜影银的存在,上述反应的速度相差100万倍,所以,相对地讲,有理由认为不含潜影银的地方, AgBr不被还原。目前认为显影的机理是:显影剂中的还原剂是通过潜影银将电子快速传递给了其周围的未见光分解的AgBr,从而使Ag+还原成了金属Ag。在PMD1000设备中,显影液是通过安装在腔体上方的喷嘴以扇形喷洒到掩模版上。这也就是潜影银对上述反应的催化机理。经过一定时间的显影,底片上的影像达到足够清析(可见影像的银原子数是潜影的10亿倍)后,即可停止显影。
显影的方法
使潜影扩大为可见影像的方法有两种:一种是通常所用的化学显影;另一种是物理显影
定影剂
定影剂是指能够与乳剂层中的卤化银反应,生成易溶于水的稳定络合物的物质。可以使定影液处于酸性状态,不断地中和从显影液中带来的余液而停止显影。定影主要是由定影液中的定影剂完成的,定影剂必须具备如下条件:能与卤化银中的某一种离子生成稳定的化合物,这种化合物易溶于水,能迅速地从乳剂层中溶到水中,而且在水中的电离程度比卤化银离解程度要小。理想的定影剂只能溶解卤化银,对金属银应该没有溶解作用。