ICP光谱仪的优点
1. 多元素同时检出能力。
可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。
2. 分析速度快。 试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。
3. 选择性好。 由于光谱的特征性强，所以对于一些化学性质极相似的元素的分析具有特别重要的意义。如铌和钽、铣和铪、十几种稀土元素的分析用其他方法都很困难，而对aes来说是毫无困难之举。
ICP光谱仪的校正
光学系统校正
在PROFILE仪器中，操作软件自动控制仪器每30分钟快速校正、每2小时完全校正光学系统。如果实验室环境温度变化较大，不能保证工作条件，可能造成测量结果数据漂移。
光学系统校正使用灯，选择Hg8线（波长253.652nm），仪器内部装有灯，只要按照操作规程操作即可。
等离子体位置校正
等离子体位置校正的目的是将光源对准光学系统。通常在重新装配进样系统后，点燃等离子体，用Mn溶液（10ug/mL）校正。
在等离子体位置校正过程中，值得注意的是：确保选中Mn 257.610波长、Mn溶液能够正常进入并形成气溶胶进入等离子体。如果上述条件没有满足，可能造成校正失败。
ICP光谱仪优点
优点还是很多且相当明显的。其一，它可以同时检测同一样品的多种元素，具备多元素同时检出能力。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。其二，分析速度快，可以在几分钟内对几十个元素进行定量测定，不需要经过化学处理。其三，选择性好，可以应用于一些化学性质相似的元素的分析，分辨出不同的元素。其四，检出限低，准确度高，可广泛应用于多个领域。3、分析数据可以从计算机打印出来或存入软盘中,作为永1久性记录。其五，无需过多样品，适用于整批样品的多组分测定。
ICP光谱仪
多通道光电直读等离子体发射光谱仪
这种光谱仪为固定狭缝多通道式，即根据待测元素谱线出现的位置，在光谱仪的焦平面上安装多个固定的出射狭缝和相应的探测器(如光电倍增管)，同时接收来自样品的多种元素的分析信号，多通道仪器的通道数可达60个以上。多道ICP光谱仪具有较高的分析效率和精度，是一种快速同时测定多种元素的方法，适用于大批量样品分析。温度变化会影响仪器的热平衡,对和一些电器件会造成不稳定,若温差较大对光路也会有影响。